イオン注入とプラズマエッチング

SIAMC のグラファイト製品は、優れた耐熱性、熱伝導性、低不純物含有量、イオンビームによる耐食性により、イオン注入装置やプラズマエッチング装置に広く使用されています。

イオン注入では、フライトチューブ、各種スリット、電極、電極カバー、導管、ビームターミネーターなどに高純度グラファイトが使用されます。これらのコンポーネントは、イオン ビームによって引き起こされる腐食に耐性がある必要があります。

プラズマ エッチングでは、プラズマ反応チャンバーのコンポーネントがエッチング ガスにさらされるため、汚染や腐食が発生する可能性があります。ただし、グラファイトはイオン衝撃やプラズマなどの極端な作業条件下では耐腐食性があるため、グラファイト電極などのプラズマ エッチング装置のコンポーネントには理想的な材料です。

SIAMC の高品質グラファイト製品は、イオン注入およびプラズマ エッチング装置に優れた性能と信頼性を提供し、半導体プロセスの品質と効率を保証します。