半導体単結晶シリコンの成長
SIAMC の高純度熱場材料は、シリコン半導体単結晶炉の製造において重要な役割を果たします。SIAMC は、グラファイト純度が 5 ppm に達する、36 インチ以上の大型サーマルフィールド材料を生産できます。熱場材料には、グラファイトコンポーネント、カーボンカーボンコンポーネント、および断熱材が含まれます。プロセス要件に応じて、グラファイト部品を PyC または SiC コーティングでコーティングすることもできます。
SIAMC の熱フィールド材料は非常に高品質で、集積回路業界のユーザーが要求する高い基準を満たしています。当社の材料は、最適な性能と信頼性を確保するために慎重に設計されており、高品質で欠陥のない単結晶シリコンインゴットを製造するメーカーから信頼されています。